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氦質譜真空氣密性檢漏儀簡介

氦質譜真空氣密性檢漏儀簡介

氦質譜真空氣密性檢漏儀是以氣態氦為示漏氣體的各種負壓真空檢漏儀器的總稱,包括傳統的氦質譜真空檢漏儀,反流式氦質譜真空檢漏儀和寄生式氦質譜真空檢漏儀等。前兩種真空檢漏儀體積較大,不宜搬動,通常用于工廠或研究所;后一種氣密性檢漏儀不需要配置獨立抽真空設備,可以做成便攜式,便于隨身攜帶,現場檢漏比較方便。

氣密性檢漏儀.png

氦質譜真空氣密性檢漏儀的基本檢漏原理是:將檢漏儀的真空室與被檢真空系統接為聯通腔體,并將系統抽至一定的真空狀態,啟動檢漏儀,然后在被檢真空系統的可疑漏點處噴涂氣體氫。若有微漏細孔,則氣體氮就會被吸入真空腔內,當氮質譜真空氣密性檢漏儀在聯通腔內檢測到氦的氣體分子,就證明此處有微漏點。

氣密性檢漏儀采用氦氣作為示漏氣體,其原因如下:1.空氣中氦的含量很少,只有約1/250000,在一般真空系統的殘余氣體中,氦的含量也很少,故氦的本底含量很低,可以得到較高的檢漏靈敏度。2.氦是惰性氣體,不會污染環境。3.氦的分子小、質量輕,通過微漏孔的速率約是空氣的2.7倍,檢漏靈敏度高。4.質量數相近的氣體(例如氫、氮等)與氦的特性差別較大,易于分離鑒別。

近年來生產的氦質譜檢漏儀一般都具有自動控制系統,能夠自動完成上述檢漏過程,而且能夠與檢漏儀自身帶有的氦標準漏孔的漏率相比較,準確顯示被檢件漏孔的漏率,使用很方便。

氦質譜真空氣密性檢漏儀.png


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